三氯化钌用途,臭氧水处理后钌表面的行为

河南回收金属钌铱,钌回收出价高。臭氧水处理后钌表面的行为为了开发极端紫外线光刻的清洁技术,用钌和氧化钌颗粒研究了用臭氧的去离子水处理处理后钌表面的行为3溶液2厚的钌覆盖层。在3处理后,观察到钌表面的结晶结构或钌表面的化学状态或与氧化钌的结构或氧化钌的状态的显着变化。未观察到钌以形成钌2或钌的氧化。钌层上的2分子的吸附增加三氯化钌用途了表面三氯化钌用途粗三氯化钌用途糙度,但是2分子回收的解吸在钌上的分子的局部化学吸附可能是后观察到粗糙钌表面的原因清洁。突出显示臭氧化离子水处理后的钌表面研究。钌表面粗糙度具有更长的3清洁。钌表面的晶体结构或化学状态无显着变化。与氧化钌的结构或状态无相似之处。在钌表面上的分子的吸附观察。
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